Titre :

Spectroscopic diagnostics and modelling of a N-2-Ar mixture discharge created by an RF helical coupling device: I. Kinetics of N-2(B (3)Pi(g)) and N-2(C (3)Pi(u)) states

Auteur(s) :

C, Foissac [Auteur]
J, Kristof [Auteur]
A, Annusova [Auteur]
P, Veis [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Plasma Sources Sci. Technol.

Date de publication :

2012

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL