Synthesis of lead-free (Bi0,5Na0,5)TiO3 ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Synthesis of lead-free (Bi0,5Na0,5)TiO3 thin film by RF magnetron sputtering: Impact of Na on the properties of film
Author(s) :
Hamieh, Ahmad [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ponchel, Freddy [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Barrau, Sophie [Auteur]
Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207 [UMET]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ponchel, Freddy [Auteur]

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Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Barrau, Sophie [Auteur]
Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207 [UMET]
Remiens, Denis [Auteur]

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Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Ferroelectrics
Pages :
79-86
Publisher :
Taylor & Francis: STM, Behavioural Science and Public Health Titles
Publication date :
2020-02-17
ISSN :
0015-0193
English keyword(s) :
lead free piezoelectric
thin film
sputtering
sodium reaction
chemical and structural analysis
electrical properties
thin film
sputtering
sodium reaction
chemical and structural analysis
electrical properties
HAL domain(s) :
Chimie/Matériaux
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
English abstract : [en]
This work concerns the growth of (Bi0,5Na0,5)TiO3 on Si/SiO2/LNO by RF magnetron sputtering. We observed, for the first time on BNT thin films, reactions that destroy the film. This behavior is associated to sodium or ...
Show more >This work concerns the growth of (Bi0,5Na0,5)TiO3 on Si/SiO2/LNO by RF magnetron sputtering. We observed, for the first time on BNT thin films, reactions that destroy the film. This behavior is associated to sodium or sodium oxide segregation. After an extensive description of the sodium impact onto the film, a solution with adapted deposition conditions to suppress these effects is reported. Raising the sputter deposition temperature to 250 °C allows to have a pure perovskite BNT single phase. The ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties of BNT films (thickness = 350 nm) were assessed. In particular, the macroscopic piezoelectric coefficient d33 attains a maximum value of 56 pm/V.Show less >
Show more >This work concerns the growth of (Bi0,5Na0,5)TiO3 on Si/SiO2/LNO by RF magnetron sputtering. We observed, for the first time on BNT thin films, reactions that destroy the film. This behavior is associated to sodium or sodium oxide segregation. After an extensive description of the sodium impact onto the film, a solution with adapted deposition conditions to suppress these effects is reported. Raising the sputter deposition temperature to 250 °C allows to have a pure perovskite BNT single phase. The ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties of BNT films (thickness = 350 nm) were assessed. In particular, the macroscopic piezoelectric coefficient d33 attains a maximum value of 56 pm/V.Show less >
Language :
Anglais
Popular science :
Non
ANR Project :
Source :