Micro-Electro-Mechanical-Systems advances ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1109/MARSS.2019.8860980
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/44733
Title :
Micro-Electro-Mechanical-Systems advances for measurements at small scales: the vertical silicon probes technology extended to nearfield optics
Author(s) :
Walter, B. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eliet, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, J-.F. [Auteur]
Faucher, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS)
City :
Helsinki
Country :
France
Start date of the conference :
2019-07-01
Publisher :
IEEE
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T09:47:56Z