Titre :

Electromagnetic Modeling in Near-Field Scanning Microwave Microscopy Highlighting Limitations in Spatial and Electrical Resolutions

Auteur(s) :

Polovodov, Petr [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Brillard, Charlene [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haenssler, Olaf [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Deresmes, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eliet, Sophie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, Fei [Auteur]
Clement, Nicolas [Auteur]
Nanostructures, nanoComponents & Molecules - IEMN [NCM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

2018 IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (NEMO)

Ville :

Reykjavik

Pays :

Islande

Date de début de la manifestation scientifique :

2018-08-08

Titre de la revue :

2018 IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (NEMO)

Éditeur :

IEEE

Mot(s)-clé(s) en anglais :

near-field scanning microwave microscopy (NSMM)
finite element method (FEM)
electromagnetic modeling
vector network analyzer (VNA)
scanning electron microscope (SEM)

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

Near-field scanning microwave microscopy (NSMM) is a scanning probe microscopy (SPM) technique that measures the local interaction of evanescent microwaves with a sample using a sharp tip probe. The traceability in NSMM ...
Lire la suite >Near-field scanning microwave microscopy (NSMM) is a scanning probe microscopy (SPM) technique that measures the local interaction of evanescent microwaves with a sample using a sharp tip probe. The traceability in NSMM is still challenging as the distribution of the electrical fields is affected by several parameters. In this effort, finite element method (FEM) based electromagnetic modeling methods are used to study the effects of the wavelength of operation and the humidity on the spatial and electrical resolutions respectively. From the simulated data, it is demonstrated that the lateral resolution is improved with increasing the frequency of operation. Furthermore, the existence and influence of a water meniscus is highlighted by fine comparison between simulated and measured data. To face these issues, an alternative near-field scanning millimeter-wave microscopy working in a controlled environment is proposed. Keywords-near-field scanning microwave microscopy (NSMM); finite element method (FEM); electromagnetic modeling; vector network analyzer (VNA); scanning electron microscope (SEM).Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet Européen :

Microwave Microscopy for Advanced and Efficient Materials Analysis and Production

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL