Titre :

Native oxide limited cross-plane thermal transport in suspended silicon membranes revealed by scanning thermal microscopy

Auteur(s) :

Massoud, A.M. [Auteur]
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux [INL - S&N]
Bluet, J.M. [Auteur]
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux [INL - S&N]
Lacatena, Valeria [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haras, Maciej [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chapuis, Pierre-Olivier [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]

Titre de la manifestation scientifique :

GDRe Workshop on Thermal Nanosciences and NanoEngineering

Ville :

Lille

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2017-11-23

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL