Title :

Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?

Author(s) :

Buchaillot, Lionel [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Équipe Microsystèmes électromécaniques [LAAS-MEMS]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Algre, Emmanuelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes [ESYCOM]

Conference title :

IEEE International Frequency Control Symposium

City :

Taipei

Country :

Taïwan

Start date of the conference :

2014-05-19

Book title :

Proceedings of 2014 IEEE International Frequency Control Symposium, IFCS 2014

Publication date :

2014-05

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

English abstract : [en]

Most of commercial Atomic Force Microscope (AFM) oscillating probes use micrometric cantilevers that can make measurement with piconewton force resolution under vacuum. However, the flexure vibration cantilevers suffer ...
Show more >Most of commercial Atomic Force Microscope (AFM) oscillating probes use micrometric cantilevers that can make measurement with piconewton force resolution under vacuum. However, the flexure vibration cantilevers suffer from a degradation of both resonance frequency and quality factor when operating in liquids. Moreover, the additional laser set-up for amplitude detection also limits the integration and miniaturization of the resonator structure. In order to overcome these difficulties, we propose to replace cantilevers by bulk mode, in-plane vibrating MEMS resonators with integrated transduction methods.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL