Title :

Cost effective laser structuration of optical waveguides on thin glass interposer

Author(s) :

Boucaud, Jean-Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Ayi-Yovo, Folly-Eli [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Hivin, Quentin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Berthomé, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, Cédric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gianesello, Frédéric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Bucci, D. [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THz - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, J.F. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Broquin, Jean-Emmanuel [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Journal of Lightwave Technology

Pages :

4445-4450

Publisher :

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)/Optical Society of America(OSA)

Publication date :

2017-10-15

ISSN :

0733-8724

English keyword(s) :

Femtosecond laser
polymer optical waveguide
thin glass interposer

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electromagnétisme

English abstract : [en]

In order to enhance electro-optical system-in-package capabilities for silicon photonics, a cost effective fabrication process for optical waveguides integration on thin glass substrate interposer is demonstrated. Firstly, ...
Show more >In order to enhance electro-optical system-in-package capabilities for silicon photonics, a cost effective fabrication process for optical waveguides integration on thin glass substrate interposer is demonstrated. Firstly, a femtosecond laser ablation coupled with a hydrofluoric acid etching is developed to create micro grooves at the glass surface. Secondly, a dry film lamination followed by chemical mechanical planarization is achieved to define surface optical waveguides by filling the micro channels. Physical characterizations of the fabricated waveguides are performed using optical and scanning electron microscopy. Finally, optical mode profile and loss characterizations confirm the optical functionality of waveguides which prove to be multimodal at 1550 nm.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Plateforme de traitement laser pour l'électronique flexible multifonctionnelle

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL