Cost effective laser structuration of ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Titre :
Cost effective laser structuration of optical waveguides on thin glass interposer
Auteur(s) :
Boucaud, Jean-Marc [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Ayi-Yovo, Folly-Eli [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Hivin, Quentin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Berthomé, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, Cédric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gianesello, Frédéric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Bucci, D. [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Broquin, Jean-Emmanuel [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Ayi-Yovo, Folly-Eli [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Hivin, Quentin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Berthomé, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, Cédric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gianesello, Frédéric [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Bucci, D. [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
![refId](/themes/Mirage2//images/idref.png)
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
![refId](/themes/Mirage2//images/idref.png)
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Broquin, Jean-Emmanuel [Auteur]
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation [IMEP-LAHC ]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
![refId](/themes/Mirage2//images/idref.png)
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Titre de la revue :
Journal of Lightwave Technology
Pagination :
4445-4450
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)/Optical Society of America(OSA)
Date de publication :
2017-10-15
ISSN :
0733-8724
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Femtosecond laser
polymer optical waveguide
thin glass interposer
polymer optical waveguide
thin glass interposer
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electromagnétisme
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electromagnétisme
Résumé en anglais : [en]
In order to enhance electro-optical system-in-package capabilities for silicon photonics, a cost effective fabrication process for optical waveguides integration on thin glass substrate interposer is demonstrated. Firstly, ...
Lire la suite >In order to enhance electro-optical system-in-package capabilities for silicon photonics, a cost effective fabrication process for optical waveguides integration on thin glass substrate interposer is demonstrated. Firstly, a femtosecond laser ablation coupled with a hydrofluoric acid etching is developed to create micro grooves at the glass surface. Secondly, a dry film lamination followed by chemical mechanical planarization is achieved to define surface optical waveguides by filling the micro channels. Physical characterizations of the fabricated waveguides are performed using optical and scanning electron microscopy. Finally, optical mode profile and loss characterizations confirm the optical functionality of waveguides which prove to be multimodal at 1550 nm.Lire moins >
Lire la suite >In order to enhance electro-optical system-in-package capabilities for silicon photonics, a cost effective fabrication process for optical waveguides integration on thin glass substrate interposer is demonstrated. Firstly, a femtosecond laser ablation coupled with a hydrofluoric acid etching is developed to create micro grooves at the glass surface. Secondly, a dry film lamination followed by chemical mechanical planarization is achieved to define surface optical waveguides by filling the micro channels. Physical characterizations of the fabricated waveguides are performed using optical and scanning electron microscopy. Finally, optical mode profile and loss characterizations confirm the optical functionality of waveguides which prove to be multimodal at 1550 nm.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01961118/document
- Accès libre
- Accéder au document
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01961118/document
- Accès libre
- Accéder au document
- document
- Accès libre
- Accéder au document
- 2017-Boucaud-IEEE-J-Lightwave-Tech-Laser_Structuration_Optical_Waveguides_Glass-nf.pdf
- Accès libre
- Accéder au document