Evaluation and modeling of lanthanum ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
Title :
Evaluation and modeling of lanthanum diffusion in TiN/La2O3/HfSiON/SiO2/Si high-k stacks
Author(s) :
Essa, Z. [Auteur]
Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique [LAAS-MPN]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gaumer, C. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Pakfar, A. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gros-Jean, M. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Juhel, M. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Panciera, F. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Boulenc, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tavernier, C. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Cristiano, Fuccio [Auteur]
Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique [LAAS-MPN]
Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique [LAAS-MPN]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gaumer, C. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Pakfar, A. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Gros-Jean, M. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Juhel, M. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Panciera, F. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Boulenc, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tavernier, C. [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Cristiano, Fuccio [Auteur]
Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique [LAAS-MPN]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
182901
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2012-10
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Physique [physics]
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
English abstract : [en]
Thermally induced interface chemistry in Mo/B4C/Si/B4C multilayered films J. Appl. Phys. 112, 054317 (2012) Probing the buried C60/Au(111) interface with atoms J. Chem. Phys. 136, 214706 (2012) Enhancement of perpendicular ...
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Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Files
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01921905/document
- Open access
- Access the document