Titre :

Influence of amorphous layers on the thermal conductivity of phononic crystals

Auteur(s) :

Verdier, Maxime [Auteur]
Laboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée [LEMTA ]
Lacroix, David [Auteur]
Laboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée [LEMTA ]
Didenko, Stanislav [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Martin, Évelyne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Physique - IEMN [PHYSIQUE - IEMN]
Bah, Thierno-Moussa [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Termentzidis, Konstantinos [Auteur]
Laboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée [LEMTA ]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]

Titre de la revue :

Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015)

Pagination :

115435 - 115435

Éditeur :

American Physical Society

Date de publication :

2018-03

ISSN :

1098-0121

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph]
Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Résumé en anglais : [en]

The impact of amorphous phases around the holes and at the upper and lower free surfaces on thermal transport in silicon phononic membranes is studied. By means of molecular dynamics and Monte Carlo simulations, we explore ...
Lire la suite >The impact of amorphous phases around the holes and at the upper and lower free surfaces on thermal transport in silicon phononic membranes is studied. By means of molecular dynamics and Monte Carlo simulations, we explore the impact of the amorphous phase (oxidation and amorphous silicon), surfaces roughness, and a series of geometric parameters on thermal transport. We show that the crystalline phase drives the phenomena; the two main parameters are (i) the crystalline fraction between two holes and (ii) the crystalline thickness of the membranes. We reveal the hierarchical impact of nanostructurations on the thermal conductivity, namely, from the most resistive to the less resistive: the creation of holes, the amorphous phase around them, and the amorphization of the membranes edges. The surfaces or interfaces perpendicular to the heat flow hinder the thermal conductivity to a much greater extent than those parallel to the heat flow.Lire moins >

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Isite LUE

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL