Optimisation technologique d'un laboratoire ...
Document type :
Thèse
Title :
Optimisation technologique d'un laboratoire sur puce intégrant des fonctions acoustiques hautes fréquences : premières applications à l'actionnement en canal microfluidique
English title :
Lab-on-chip technological optimization for integration of high frequency acoustic functions : first application to actuation in a microfluidic channel
Author(s) :
Li, Sizhe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thesis director(s) :
Bertrand Nongaillard
Georges Nassar
Julien Carlier
Georges Nassar
Julien Carlier
Defence date :
2016-05-25
Jury president :
Stéphane Serfaty [Président]
Michel Aillerie [Rapporteur]
Rosaria Ferrigno [Rapporteur]
Fabrice Lefebvre
Florence Anne Razan
Xingzhong Zhao
Michel Aillerie [Rapporteur]
Rosaria Ferrigno [Rapporteur]
Fabrice Lefebvre
Florence Anne Razan
Xingzhong Zhao
Jury member(s) :
Stéphane Serfaty [Président]
Michel Aillerie [Rapporteur]
Rosaria Ferrigno [Rapporteur]
Fabrice Lefebvre
Florence Anne Razan
Xingzhong Zhao
Michel Aillerie [Rapporteur]
Rosaria Ferrigno [Rapporteur]
Fabrice Lefebvre
Florence Anne Razan
Xingzhong Zhao
Accredited body :
Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis
Doctoral school :
École doctorale Sciences pour l'ingénieur (Lille)
NNT :
2016VALE0014
Keyword(s) :
Acoustique haute fréquence
Laboratoire sur puce
Microfluidique
Actionnement
Laboratoire sur puce
Microfluidique
Actionnement
English keyword(s) :
High frequency acoustic
Lab-On-Chip
Microfluidic
Actuation
Lab-On-Chip
Microfluidic
Actuation
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Informatique [cs]/Réseaux et télécommunications [cs.NI]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Informatique [cs]/Réseaux et télécommunications [cs.NI]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
French abstract :
L’intérêt des ultrasons pour la caractérisation de milieux ou pour l’actionnement à plus forte puissance n’est plus à démontrer. L’intégration de fonctions acoustiques substrats de silicium soulève en revanche de nombreux ...
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English abstract : [en]
The interest of ultrasounds for media characterization or for actuation when using more power is well known. Nevertheless, the integration of these acoustic functions in silicon based Lab-on-chips requires specific ...
Show more >The interest of ultrasounds for media characterization or for actuation when using more power is well known. Nevertheless, the integration of these acoustic functions in silicon based Lab-on-chips requires specific technological developments. The possibility to use high frequency bulk acoustic waves in this kind of systems for characterization or detection has been presented previously in another PhD work. The main objective of this work was to optimize acoustic energy transfer to a microfluidic channel in a frequency range between 500 MHz and 1000 MHz. To do that, the main technological developments achieved among others concern the coating of the guiding mirrors to avoid acoustic mode conversion and ZnO thick films sputtering for the fabrication of piezoelectric transducers. The developed system has been used for particles detection or concentration evaluation. Moreover, a first evaluation of fluids/particles actuation was demonstrated, along with temperature evaluation using ultrasound were achieved in microfluidic channels.Show less >
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Language :
Anglais
Source :
Files
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