Impact of the deposition process on the ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Impact of the deposition process on the elastic properties of thin films measured by ultrafast acoustics
Author(s) :
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Le Louarn, A. [Auteur]
Emery, P. [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Le Louarn, A. [Auteur]
Emery, P. [Auteur]
Conference title :
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2013
City :
Prague
Country :
République tchèque
Start date of the conference :
2013
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :