ANL-MEMS : Techniques d'imagerie acoustique ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
ANL-MEMS : Techniques d'imagerie acoustique non linéaire pour l'étude de la fiabilité des MEMS
Author(s) :
Bou Matar, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Aleshin, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Zhou, Huan [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chigarev, Nikolay [Auteur]
Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans [LAUM]
Goussev, Vitali [Auteur]
Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans [LAUM]
Ni, C. [Auteur]
Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans [LAUM]
Tournat, V. [Auteur]
Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans [LAUM]
Conference title :
Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2013
City :
Marseille
Country :
France
Start date of the conference :
2013
HAL domain(s) :
Physique [physics]
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL