Titre :

Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés

Auteur(s) :

Annusova, Adriana [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Slovak Academy of Sciences [SAS]
Foissac, Corinne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Veis, Pavel [Auteur]
Slovak Academy of Sciences [SAS]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais

Ville :

Villeneuve d'Ascq

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2013

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Français

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL