Piezoresistive ring-shaped AFM sensors ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.4018/ijimr.2013010104
Title :
Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution
Author(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, M. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics
Pages :
38-52
Publication date :
2013
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL