Detecting response of microelectromechanical ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry
Author(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ducatteau, D. [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, B. [Auteur]
Tanbakuchi, H. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ducatteau, D. [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, B. [Auteur]
Tanbakuchi, H. [Auteur]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
053124-1-5
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2013
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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