Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry

Document type :

Article dans une revue scientifique

DOI :

Title :

Author(s) :

Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ducatteau, D. [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, B. [Auteur]
Tanbakuchi, H. [Auteur]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

053124-1-5

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2013

ISSN :

0003-6951

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

Source :

Detecting response of microelectromechanical ... BibTeX CSV Excel RIS