Thermochemical behaviour of organosilicon ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Thermochemical behaviour of organosilicon films deposited by a cold plasma polymerisation process
Author(s) :
Mutel, B. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Scientific editor(s) :
Mittal K.L.
Book title :
Polyimides and other high temperature polymers synthesis, characterization and applications
Publisher :
CRC Press
Publication date :
2009
ISBN :
ISBN 978-90-04-17080-3, e-ISBN 978-90-474-2411-6
Language :
Anglais
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :