Title :

In situ silicon-integrated tuner for automated on-wafer mmW noise parameters extraction using multi-impedance method for transistor characterization

Author(s) :

Tagro, Y. [Auteur]
Waldhoff, N. [Auteur]
Gloria, D. [Auteur]
Boret, S. [Auteur]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

Pages :

170-177

Publisher :

Institute of Electrical and Electronics Engineers

Publication date :

2012

ISSN :

0894-6507

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL