Micro-cantilevers pressure sensors

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Micro-cantilevers pressure sensors
Auteur(s) :
Mortet, V. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Potmesil, J. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
d'Olieslaeger, M. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur] refId
Vanecek, M. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008, NMC 2008
Ville :
Mainz
Pays :
Allemagne
Date de début de la manifestation scientifique :
2008
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL