Unbalanced RF magnetron sputtering of thin ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Unbalanced RF magnetron sputtering of thin hexagonal boron nitride films
Auteur(s) :
Ben Moussa, B. [Auteur]
d'Haen, J. [Auteur]
Borschel, C. [Auteur]
Saitner, M. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mortet, V. [Auteur]
Ronning, C. [Auteur]
d'Olieslaeger, M. [Auteur]
Boyen, H. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010
Ville :
Suzhou
Pays :
Chine
Date de début de la manifestation scientifique :
2010
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL