Cinétique du milieu de polymérisation du ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Cinétique du milieu de polymérisation du TMDSO assistée par plasma en post-décharge
Author(s) :
Abou Rich, S. [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Conference title :
XIIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, SFGP 2011
City :
Lille
Country :
France
Start date of the conference :
2011
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL