Cinétique du milieu de polymérisation du ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Cinétique du milieu de polymérisation du TMDSO assistée par plasma en post-décharge
Auteur(s) :
Abou Rich, S. [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur]
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
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Titre de la manifestation scientifique :
XIIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, SFGP 2011
Ville :
Lille
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2011
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :