Title :

Etude du transport du TMDSO en présence d'une post-décharge d'un plasma d'azote en écoulement

Author(s) :

Abou Rich, S. [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

XIIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, SFGP 2011

City :

Lille

Country :

France

Start date of the conference :

2011

Book title :

Récents Progrès en Génie des Procédés, 101

Publication date :

2011

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL