Title :

Direct deposition of surface acoustic wave sensors by aerosol jet printing technique

Author(s) :

Vandormael, D. [Auteur]
Rigo, O. [Auteur]
Seronveaux, Laurent [Auteur]
Monnoye, D. [Auteur]
Beeckman, E. [Auteur]
Dormal, T. [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Deboucq, J. [Auteur]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

6th International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components, Smart Systems Integration 2012

City :

Zurich

Country :

Suisse

Start date of the conference :

2012

Publication date :

2012

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL