Conception and fabrication of piezo-resistive ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MEMSYS.2012.6170180
Titre :
Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe
Auteur(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
Ville :
Paris
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2012
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
Date de publication :
2012
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL