Title :

Characterization of nano-crystalline diamond films grown by continuous DC bias during plasma enhanced chemical vapor deposition

Author(s) :

Mortet, V. [Auteur]
Zhang, L. [Auteur]
Eckert, M. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
d'Haen, J. [Auteur]
Douheret, O. [Auteur]
Moreau, M. [Auteur]
Osswald, S. [Auteur]
Neyts, E. [Auteur]
Troadec, david [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wagner, P. [Auteur]
Bogaerts, A. [Auteur]
van Tendeloo, G. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]

Conference title :

Materials Research Society Fall Meeting, MRS Fall 2009, Symposium J : Diamond electronics and bioelectronics - Fundamentals to applications III

City :

Boston, MA

Country :

Etats-Unis d'Amérique

Start date of the conference :

2009

Book title :

Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

Publication date :

2009

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL