Future trends in acoustic RF MEMS devices

Document type :
Partie d'ouvrage
DOI :
10.1007/978-1-4419-8798-3_4
Title :
Future trends in acoustic RF MEMS devices
Author(s) :
Dubus, Bertrand [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Scientific editor(s) :
Enz C.C., Kaiser A.
Book title :
MEMS-based circuits and systems for wireless communication
Publisher :
Springer
Publication date :
2013
ISBN :
ISBN 978-1-4419-8797-6 ; e-ISBN 978-1-4419-8798-3
Language :
Anglais
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Files
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail
  • https://api.istex.fr/document/181A8FA112F6AC282978A624F98E499A780C8442/fulltext/pdf?sid=hal
  • Open access
  • Access the document
Thumbnail