Dry etching process on a conducting ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Dry etching process on a conducting interpenetrating polymer network actuator for a flapping fly micro robot
Author(s) :
Khaldi, Alexandre [Auteur]
Plesse, Cedric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, F. [Auteur]
Chevrot, C. [Auteur]
Teyssie, D. [Auteur]
Plesse, Cedric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, F. [Auteur]
Chevrot, C. [Auteur]
Teyssie, D. [Auteur]
Conference title :
ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
City :
Denver, CO
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2011
Book title :
Proceedings of the ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
Publication date :
2011
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :