Surface engineering by plasma : spectroscopic ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Surface engineering by plasma : spectroscopic characterization of an N2-Ar discharge
Auteur(s) :
Annusova, A. [Auteur]
Kristof, J. [Auteur]
Foissac, C. [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Veis, P. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
14th Conference of Doctoral Students, ELITECH'12
Ville :
Bratislava
Pays :
Slovaquie
Date de début de la manifestation scientifique :
2012
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL