Title :

Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse

Author(s) :

Annusova, Adriana [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Comenius University in Bratislava
Foissac, Corinne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Veis, Pavel [Auteur]
Comenius University in Bratislava
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

Journée Jeunes Chercheurs de l'Union de Génie des Procédés et de l'Energétique du Nord-Pas-de-Calais, UGéPE 2012

City :

Roubaix

Country :

France

Start date of the conference :

2012

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL