High frequency ultrasound, a tool for ...
Type de document :
Article dans une revue scientifique
Titre :
High frequency ultrasound, a tool for elastic properties measurement of thin films fabricated on silicon
Auteur(s) :
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Saad, N. [Auteur]
Gao, J. [Auteur]
Toubal, Malika [Auteur]
Dupont, L. [Auteur]
Nassar, Georges [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]

Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Saad, N. [Auteur]
Gao, J. [Auteur]
Toubal, Malika [Auteur]
Dupont, L. [Auteur]
Nassar, Georges [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Titre de la revue :
Advanced Materials Research
Pagination :
277-281
Éditeur :
Trans Tech Publications
Date de publication :
2011
ISSN :
1022-6680
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :