Improved micromachining of all SU-8 3D ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1016/j.mee.2011.01.065
Title :
Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot
Author(s) :
Bao, X.Q. [Auteur]
Dargent, Thomas [Auteur] refId
Grondel, Sébastien [Auteur]
Paquet, J.B. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pages :
2218-2224
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2011
ISSN :
0167-9317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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