Realization of ultra dense arrays of ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Realization of ultra dense arrays of vertical silicon NWs with defect free surface and perfect anisotropy using a top-down approach
Author(s) :
Han, X.L. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Fazzini, Pier-Francesco [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Fazzini, Pier-Francesco [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]

Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pages :
2622-2624
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2011
ISSN :
0167-9317
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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