Title :

Electromechanical transconductance properties of a GaN MEMS resonator with fully integrated HEMT transducers

Author(s) :

Faucher, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cordier, Y. [Auteur]
Werquin, M. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Gaquière, Christophe [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]

Journal title :

Journal of Microelectromechanical Systems

Pages :

370-378

Publisher :

Institute of Electrical and Electronics Engineers

Publication date :

2012

ISSN :

1057-7157

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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