Electromechanical transconductance properties ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Electromechanical transconductance properties of a GaN MEMS resonator with fully integrated HEMT transducers
Author(s) :
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cordier, Y. [Auteur]
Werquin, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Gaquiere, Christophe [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cordier, Y. [Auteur]
Werquin, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Gaquiere, Christophe [Auteur]

Théron, Didier [Auteur]

Journal title :
Journal of Microelectromechanical Systems
Pages :
370-378
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2012
ISSN :
1057-7157
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :