Electromechanical transconductance properties ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Electromechanical transconductance properties of a GaN MEMS resonator with fully integrated HEMT transducers
Author(s) :
Faucher, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cordier, Y. [Auteur]
Werquin, M. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Gaquière, Christophe [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cordier, Y. [Auteur]
Werquin, M. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Gaquière, Christophe [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]

Journal title :
Journal of Microelectromechanical Systems
Pages :
370-378
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2012
ISSN :
1057-7157
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :