Title :

Capteur miniaturisé à élément chauffant et procédé de fabrication associé

Author(s) :

Viard, Romain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Merlen, Alain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publication date :

2013-01-18

Patent number :

FR2977886 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20110056409 20110713 ; également publié en tant que : WO2013008203 (A2) 2013-01-17 ; WO2013008203 (A3) 2013-03-07 ; EP2731908 (A2) 2014-05-21

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL