4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips
Auteur(s) :
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011
Ville :
Cancun
Pays :
Mexique
Date de début de la manifestation scientifique :
2011-01-23
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011
Date de publication :
2011
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the ...
Lire la suite >We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the maximum of vibration are fabricated in batch process. After electrical and optical characterizations, chips supporting the resonator and the prominent tip are extracted from the wafer. Next, the AFM nanoprobes are integrated in a commercially available AFM set-up with a modified probe holder. Experimental results of high resonance frequency AFM images are presented.Lire moins >
Lire la suite >We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the maximum of vibration are fabricated in batch process. After electrical and optical characterizations, chips supporting the resonator and the prominent tip are extracted from the wafer. Next, the AFM nanoprobes are integrated in a commercially available AFM set-up with a modified probe holder. Experimental results of high resonance frequency AFM images are presented.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :