Title :

Vacuum UV emission spectroscopy of discharge excited by a RF helical coupling device in N2-Ar mixtures

Author(s) :

Veis, P. [Auteur]
Foissac, C. [Auteur]
Annusova, A. [Auteur]
Kristof, J. [Auteur]
Martisovits, V. [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Scientific editor(s) :

Hori M. and Graha W.G.

Conference title :

63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

City :

Paris

Country :

France

Start date of the conference :

2010

Book title :

Proceedings of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

Journal title :

ISBN 978-4-86348-101-5

Publisher :

Japan Society of Applied Physics

Publication date :

2010

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL