Titre :

Vacuum UV emission spectroscopy of discharge excited by a RF helical coupling device in N2-Ar mixtures

Auteur(s) :

Veis, P. [Auteur]
Foissac, C. [Auteur]
Annusova, A. [Auteur]
Kristof, J. [Auteur]
Martisovits, V. [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :

Hori M. and Graha W.G.

Titre de la manifestation scientifique :

63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2010

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

Titre de la revue :

ISBN 978-4-86348-101-5

Éditeur :

Japan Society of Applied Physics

Date de publication :

2010

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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