Plasma polymer process for microfluidic ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49060
Titre :
Plasma polymer process for microfluidic devices fabrication
Auteur(s) :
Abbas, A. [Auteur]
Bourzgui, N.E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, B. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Vivien, C. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
36th IEEE International Conference on Plasma Science, ICOPS 2009
Ville :
San Diego, CA
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2021-07-27T17:16:54Z