Improvement of AlN SAW performance by ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Improvement of AlN SAW performance by introduction of TiN nucleation layer on silicon substrate
Author(s) :
Soltani, Ali [Auteur] refId
Talbi, Abdelkrim [Auteur] refId
Mortet, V. [Auteur]
Bassam, A. [Auteur]
Oussous, A. [Auteur]
Monroy, E. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur] refId
Conference title :
15th International Hasselt Diamond Workshop, SBDD XV
City :
Hasselt
Country :
Belgique
Start date of the conference :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL