Développement de capteurs interdigités ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
Développement de capteurs interdigités pour la caractérisation de couches sur substrat
Auteur(s) :
Deboucq, J. [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]
Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ourak, Mohamed [Auteur]
Duquennoy, Marc [Auteur]

Ouaftouh, Mohammadi [Auteur]
Jenot, Frédéric [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ourak, Mohamed [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :
10ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 10
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010
Titre de l’ouvrage :
Actes du 10ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 10
Éditeur :
_
Date de publication :
2010
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T17:43:34Z