Simulation de dépôt/infiltration chimique ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Simulation de dépôt/infiltration chimique basée sur des images 3D : approche locale
Auteur(s) :
Ros, W. [Auteur]
Vignoles, G.L. [Auteur]
Germain, C. [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010
Titre de l’ouvrage :
Actes de MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Éditeur :
_
Date de publication :
2010
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
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