Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés
Author(s) :
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vivien, Celine [Auteur] refId
Rouessac, V. [Auteur]
Roualdes, S. [Auteur]
Conference title :
MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Country :
France
Start date of the conference :
2010
Book title :
Actes de MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Publisher :
_
Publication date :
2010
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL