Modélisation des résonateurs RF MEMS par ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Modélisation des résonateurs RF MEMS par l'approche polynômiale
Auteur(s) :
Raherison, Antoine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2009
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :