Fabrication et fonctionnalisation de bioMEMS ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Fabrication et fonctionnalisation de bioMEMS par plasma froid pour l'analyse de la biocatalyse en spectroscopie terahertz
Author(s) :
Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2009
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :