A 45° silicon mirror for acoustic propagation ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1088/1742-6596/269/1/012009
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49538
Titre :
A 45° silicon mirror for acoustic propagation parallel to the plane of the substrate
Auteur(s) :
Wang, S. [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]
Xu, Wei-Jiang [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ndieguene, A. [Auteur]
Zhao, X. [Auteur]
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2011
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2021-07-27T17:48:33Z
Fichiers
Thumbnail
Thumbnail