Conception dun microsystème acoustique ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Conception dun microsystème acoustique permettant la caractérisation ultrasonore haute fréquence en transmission
Auteur(s) :
Ndieguene, Assane [Auteur correspondant]
Wang, Shengxiang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Xu, Wei Jiang [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Zhao, Xingzhong [Auteur]
Wuhan University [China]
Wang, Shengxiang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Xu, Wei Jiang [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Zhao, Xingzhong [Auteur]
Wuhan University [China]
Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :
Société Française d'Acoustique - SFA
Titre de la manifestation scientifique :
10ème Congrès Français d'Acoustique
Ville :
Lyon
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010-04-12
Titre de l’ouvrage :
10ème Congrès Français d'Acoustique
Date de publication :
2010
Mot(s)-clé(s) :
Microsystème
acoustique
comsol
acoustique
comsol
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Résumé :
Lintégration de miroirs à 45° dans des substrats de silicium a permis de générer des ondes ultrasonores longitudinales ou transversales hautes fréquences, dans une direction parallèle au plan de la surface. Cette disposition ...
Lire la suite >Lintégration de miroirs à 45° dans des substrats de silicium a permis de générer des ondes ultrasonores longitudinales ou transversales hautes fréquences, dans une direction parallèle au plan de la surface. Cette disposition permet de dissocier la face du wafer utilisée pour intégrer les éléments acoustiques associés à leur électronique, de la face utilisée pour les dispositifs microfluidiques. Ceci peut être utilisé en vue de caractériser en transmission des objets dans un canal microfluidique sur silicium. Les applications concernées sont la mesure des propriétés mécaniques de cellules biologiques, les propriétés viscoélastiques de fluides, la caractérisation de milieux périodiques structurés Les modèles de simulation utilisant Comsol ont permis détudier la propagation de différentes ondes dans lensemble du dispositif acoustique pour une géométrie donnée. Ils ont conduit à une optimisation de la position du transducteur récepteur dans un mode en transmission. Les mesures ont confirmé ces résultats par observation des échos des ondes longitudinales et transversales. Un dispositif expérimental fonctionnant à 1 GHz a été réalisé et ses caractéristiques électriques et acoustiques sont présentées.Lire moins >
Lire la suite >Lintégration de miroirs à 45° dans des substrats de silicium a permis de générer des ondes ultrasonores longitudinales ou transversales hautes fréquences, dans une direction parallèle au plan de la surface. Cette disposition permet de dissocier la face du wafer utilisée pour intégrer les éléments acoustiques associés à leur électronique, de la face utilisée pour les dispositifs microfluidiques. Ceci peut être utilisé en vue de caractériser en transmission des objets dans un canal microfluidique sur silicium. Les applications concernées sont la mesure des propriétés mécaniques de cellules biologiques, les propriétés viscoélastiques de fluides, la caractérisation de milieux périodiques structurés Les modèles de simulation utilisant Comsol ont permis détudier la propagation de différentes ondes dans lensemble du dispositif acoustique pour une géométrie donnée. Ils ont conduit à une optimisation de la position du transducteur récepteur dans un mode en transmission. Les mesures ont confirmé ces résultats par observation des échos des ondes longitudinales et transversales. Un dispositif expérimental fonctionnant à 1 GHz a été réalisé et ses caractéristiques électriques et acoustiques sont présentées.Lire moins >
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Nationale
Vulgarisation :
Non
Source :