Title :

Vacuum UV and UV spectroscopy of a N2-Ar mixtures discharge created by a RF helical coupling device

Author(s) :

Foissac, C. [Auteur]
Kristof, J. [Auteur]
Annusova, A. [Auteur]
Martisovits, V. [Auteur]
Veis, P. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publisher :

IOP Publishing

Publication date :

2010

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

Submission date :

2021-07-27T18:13:56Z