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Vacuum UV and UV spectroscopy of a N2-Ar ...
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Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1088/0963-0252/19/5/055006
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49822
Title :
Vacuum UV and UV spectroscopy of a N2-Ar mixtures discharge created by a RF helical coupling device
Author(s) :
Foissac, C. [Auteur]
Kristof, J. [Auteur]
Annusova, A. [Auteur]
Martisovits, V. [Auteur]
Veis, P. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2010
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T18:13:56Z
Files
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