Fracture toughness, hardness, and Young's ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Title :
Fracture toughness, hardness, and Young's modulus of tantalum nanocrystalline films
Author(s) :
Guisbiers, G. [Auteur]
Herth, E. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pardoen, T. [Auteur]
Herth, E. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pardoen, T. [Auteur]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
143115-1-3
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2010
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
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