Development of a new generation of active ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1088/0960-1317/20/8/085010
Title :
Development of a new generation of active AFM tools for applications in liquids
Author(s) :
Rollier, A.S. [Auteur]
Jenkins, D.F.L. [Auteur]
Dogheche, El Hadj [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Faucher, M. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
085010-1-11
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2010
ISSN :
0960-1317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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