A theoretical and experimental study of ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
A theoretical and experimental study of the BCB thin-film cap zero-level package based on FEM simulations
Auteur(s) :
Seok, S. [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Rolland, P.A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Rolland, P.A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pagination :
095010-1-7
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2010
ISSN :
0960-1317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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